Tehnologii de fabricație și micro/nanotehnologii

Această lucrare prezintă tehnologiile / procesele / procedeele principale specifice pentru fabricația unor structuri la scară miniaturizată (micro-nano), cu accent pe structurile micromecanice / microelectronice (MEMS) ce se obțin prin procese tehnologice similare cu cele întâlnite în fabricația circuitelor integrate și în industria electronică sau prin intermediul unor tehnologii și procese care sunt aplicabile exclusiv structurilor cu acest ordin de mărime (micrometric / submicrometric). Chiar dacă accentul se pune pe tehnologiile de fabricație a structurilor / componentelor micromecanice, se acordă atenție și unor aspecte privind fabricația componentelor electronice / microelectronice.